연구업적
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2025-08-01 | [RCMS][2-1]대면적 AAO 나노기공을 이용한 용액공정 기반 페로브스카이트 나노와이어 엑스레이 신틸레이터 개발 |
| 2025-07-15 | [RCMS][1단계3-1]기술선도형 3D 패키징 전략기술 검증기술 개발(7-1) |
| 2025-04-15 | 2025년 반도체특성화대학사업 지원(교육과정운영비) |
| 2025-03-01 | [RCMS][1단계2-2]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-2) |
| 2025-03-01 | [RCMS][4-3]반도체특성화대학지원사업 |
지적재산권 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2025-04-16 | 단일 도메인으로 구현되는 대면적 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법 |
| 2025-03-21 | 이종 나노격자들을 사용하는 하이브리드 본딩 패키징 방법 및 이를 이용하여 제조되는 반도체 소자 |
| 2025-03-21 | 무한 자가 회복 특성을 이용하는 하이브리드 본딩 패키징 방법 및 이를 이용하여 제조되는 반도체 소자 |
| 2025-02-04 | PEALD와 INHIBITOR를 활용한 DRAM 캐패시터용 고유전율 절연체 증착 방법 |
| 2024-12-19 | 단일 도메인으로 구현되는 대면적 반도체 소자 및 이를 제조하는 방법 |
| 2024-12-18 | PEALD와 inhibitor를 활용한 DRAM 커패시터용 고유전율 절연체 증착 방법 |