연구업적
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
테이블 이름 - 년도 및 제목
년도
제목
2025-07-01
[Ez][2단계4-1]고집적 반도체 웨이퍼 수율 향상을 위한 EFEM 고도화 기술 개발(5-2)
지적재산권 (최근 3년간의 실적)
테이블 이름 - 년도 및 제목
년도
제목
2025-06-05
저전력으로 구현되는 열 플라즈마 토치