연구업적
논문 (최근 3년간의 실적)
년도 | 제목 |
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2025-06-30 | RF Generator 교체 주기 최적화를 위한 Robust Design |
2025-06-30 | 반도체 공정 Ionizer Fuzzball 발생과 정전기 제어의 상관성 연구 |
2025-05-01 | Initial position optimization in molecular dynamics simulations for a Coulomb system |
2025-04-04 | Moment-Fourier approach to parallel closures and transport for a toroidally confined electron-ion plasma |
2025-01-31 | Virtual Metrology of Multiple Dielectric Layer Thickness for 3D-NAND Deposition Process |
2024-04-12 | Investigation of radiation power and carbon evaporation in infrared sensor bolometer |
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
년도 | 제목 |
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2025-08-20 | [RCMS]AI × K-시뮬레이션 기반 차세대 반도체 공정용 GPU 가속 SW 플랫폼 개발 및 원천기술 국산화 |
2025-07-01 | [1단계3-1]반도체 공정향상과 VM 기술을 위한 고정밀 플라즈마 간접진단기술(5-1) |
2025-05-29 | [RCMS][1단계3-1]반도체 공정향상과 VM 기술을 위한 고정밀 플라즈마 간접진단기술(5-1) |
2025-05-01 | [Ez][1단계 3-2]물리기반 기계학습을 활용한 핵융합 플라즈마 수송계수 개방형 정보열람 플랫폼 개발(5-2차년도) |
2025-03-01 | [RCMS][1단계2-2]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-2) |
2025-03-01 | [RCMS][4-3]반도체특성화대학지원사업 |
2025-02-25 | [2-1]GPU 기반 초고성능 입자 시뮬레이션을 활용한 차세대 핵융합 플라즈마 수송모델 플랫폼 혁신 개발 |
2024-08-05 | 반도체 장비기술개발 학연협력전략 연구보고서 |
2024-06-24 | [3-1차년도]물리기반 기계학습을 활용한 핵융합 플라즈마 수송계수 개방형 정보열람 플랫폼 개발(1단계) |
2024-03-01 | [RCMS]반도체특성화대학지원사업(4-2차년도) |
2024-03-01 | [RCMS]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-1차년도) |